如图所示，离子源A产生的初速度为零、带电量均为q，质量不同的正离子，被电压为U₀的加速电场加速后匀速通过准直管，垂直射入平行板间的匀强偏转电场，偏转后通过极板HM上的小孔S离开电场，经过一段匀速直线运动，垂直于边界MN进入磁感应强度为B的匀强磁场，已知∠MNQ=90°，HO=d，HS=2d。（忽略粒子所受重力）

（1）求偏转电场场强E₀的大小以及HM与MN的夹角；
（2）求质量为m的正离子在磁场中做圆周运动的半径；
（3）若质量为9m的正离子恰好垂直打在NQ的中点S₁处，试求能打在边界NQ上的正离子的质量范围。