作为推行“低碳经济”的重要科技进步成果，太阳能光伏发电成为2010年上海世博会的“亮点”。太阳能光伏发电最关键的材料是高纯硅，生产高纯硅的流程示意图如下：

（1）写出从粗硅到SiHCl₃的化^‑学方程式                                       。
（2）“精馏”也是蒸馏的一种形式。通过蒸馏可把液体混合物分离开，原理是利用混合物各成分的                             （填“熔点”或“沸点”）不同。
（3）整个制备过程必须达到无水无氧。在H₂还原SiHCl₃过程中若混入O₂，可能引起的后果有                                                     （填一种可能）。
（4）石英砂的主要成分是SiO₂，含有少量杂质Al₂O₃。若要除去石英砂中少量的杂质，可选用的试剂是                     （填化学式）。