作为推行“低碳经济”的重要科技进步，太阳能 光伏发电成为2010年上海世博会的“亮点”。太阳能光伏发电最关键的材料是高纯硅。三氯甲硅烷（SiHCl₃）还原法是当前制备高纯硅的主要方法。生产流程示意图如下：

（1）三氯甲硅烷（SiHCl₃）是由        种元素组成的化合物。
（2）“精馏”也是蒸馏的一种形式。通过蒸馏可把液体混合物分离开，原理是利用混合物各成分的          （填“熔点”或“沸点”）不同。
（3）写出从粗硅到SiHCl₃（粗）的化学方程式                                  。
（4）为了达到绿色化学和资源综合利用的目的，上述生产流程中某些物质可循环使用，这些物质是           _________（填化学式）。
（5）石英砂的主要成分是SiO₂，含有少量Al₂O₃。若要除去石英砂中少量的杂质，可选用的试剂是             __________（填化学式）。