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  • 科目:化学
  • 题型:填空题
  • 难度:较难
  • 人气:739

多晶硅生产工艺流程如下:

(1)粗硅粉碎的目的是     。分离SiHCl3 (l)和SiCl4(l)的方法为      
(2)900℃以上, H2与SiHCl3发生如下反应:SiHCl3 (g)+ H2 (g)Si (s) + 3HCl (g)    ΔH >0,其平衡常数表达式为K =      。为提高还原时SiHCl3的转化率,可采取的措施有     
(3)该流程中可以循环使用的物质是      
(4)SiCl4与上述流程中的单质发生化合反应,可以制得SiHCl3,其化学方程式为      

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多晶硅生产工艺流程如下:(1)粗硅粉碎的目的是。分离SiHC