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S i H C l 3 ( 纯 ) + H 2 = 高温 S i + 3 X 高纯硅是信息产业最基础的原材料,制备高纯硅的主要生产过程如下: 请回答: (1)一个 S i H C l 3 分子中含有氯原子的个数为; (2)制备高纯硅的反应原理: S i H C l ( 纯 ) + H 2 = 高温 S i + 3 X ,则 X 的化学式为。
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