【2015年浙江省丽水市】高纯硅是信息产业最基础的原材料，制备高纯硅的主要生产过程如下：
请回答：

（1）一个SiHCl₃分子中含有氯原子的个数为             ；
（2）制备高纯硅的反应原理：SiHCl₃（纯）＋H₂Si＋3X，则X的化学式为            。