氮化硅硬度大、熔点高、不溶于酸（氢氟酸除外），是一种重要的结构陶瓷材料。一种用工业硅（含少量钾、钠、铁、铜的氧化物），已知硅的熔点是1420℃，高温下氧气及水蒸气能明显腐蚀氮化硅。一种合成氮化硅的工艺主要流程如下：

（1）净化N₂和H₂时，铜屑的作用是：_________________；硅胶的作用是                。
（2）在氮化炉中3Si(s)+2N₂(g)=Si₃N₄(s) △H=－727.5kJ/mol，开始时为什么要严格控制氮气的流速以控制温度：                  ；
（3）X可能是               （选填：“盐酸”、“硝酸”、“硫酸”、“氢氟酸”）
（4）如何说明氮化硅产品已用水洗干净？                        。
（5）用硅粉作硅源、叠氮化钠（NaN₃）作氮源，直接燃烧生成氮化硅（发生置换反应），该反应的化学方程式为：                      。