硅是重要的半导体材料。X+H₂ $\frac{\underset{¯}{\mathit{一定条件}}}{}$3HCl+Si（高纯）是工业制硅流程中的一个化学反应方程式，则X为（　　）

A．SiClB．SiCl₃C．SiHCl₃D．SiH₂Cl₃