高纯硅生产流程如下：

（1）由SiO₂制粗硅的化学方程式是       ，该反应不能说明碳的非金属性强于硅，原因是       ，请写出一个能说明碳的非金属性强于硅的化学方程式       。
（2）900℃以上，H₂与SiHCl₃发生反应：SiHCl₃(g)+ H₂(g)Si(s) + 3HCl(g)  ΔH＞0。将一定量的反应物通入固定容积的密闭容器中进行反应。下列说法正确的是      （填字母）。
a．在恒温条件下，若容器内压强不变，则该反应一定达到化学平衡状态
b．增大SiHCl₃的用量，可提高SiHCl₃的平衡转化率
c．升高温度可加快反应速率，且提高硅的产率
（3）该流程中可以循环使用的物质是       。