多晶硅生产工艺流程如下：

（1）粗硅粉碎的目的是   。分离SiHCl₃ (l)和SiCl₄(l)的方法为   。
（2）900℃以上， H₂与SiHCl₃发生如下反应：SiHCl₃ (g)+ H₂ (g)Si (s) + 3HCl (g)    ΔH ＞0，其平衡常数表达式为K =     。为提高还原时SiHCl₃的转化率，可采取的措施有   。
（3）该流程中可以循环使用的物质是   。
（4）SiCl₄与上述流程中的单质发生化合反应，可以制得SiHCl₃，其化学方程式为   。