已知 $\left\{a_n\right\}$是公差不为零的等差数列， $a_1=1$，且 $a_1,a_3,a_9$成等比数列.
（Ⅰ）求数列 $\left\{a_n\right\}$的通项;

（Ⅱ）求数列 $\left\{2^{a_n}\right\}$的前 $n$项和 $S_n$.